Қытай 7 нм чипке жарайтын 343 ASML сканерін жинады

Қытайлық чип өндірушілер 2012 жылдан 2026 жылдың басына дейін 343 иммерсиялық DUV литографиялық сканерін әкелген. Бұл қорытындыға Вашингтондағы Технология және мемлекеттік басқару орталығы (CTS) келді, оның баяндамасын 5 қазанда Tom’s Hardware талдады. Авторлардың бағалауынша, бұл машиналардың едәуір бөлігін 7 нм класындағы чиптерді шығаруға пайдалануға болады. Ал ең заманауи EUV сканерлері санкцияға байланысты Қытайға жеткізілмейді.

Литографиялық сканер схеманың суретін кремний пластинаға түсіреді. Заманауи процессорлардың ең жұқа қабаттарын тек нидерландтық ASML жасайтын EUV машиналары басады. Бірақ 7 нанометрлік чипті ескі DUV сканерлерімен де алуға болады, егер суретті бірнеше рет қайталап түсірсе. Бұл қымбатырақ әрі ұзағырақ, есесіне тыйым салынған жабдық керек емес.

Қытай нақты не сатып алды

CTS дерегінше, парктің негізін ASML-дің NXT:1980i сериясының 270 сканері құрайды. Тағы 22 машина NXT:2050i моделіне, алтауы NXT:2000i моделіне жатады. Сатып алу шыңы соңғы екі жылға тұспа-тұс келді:

• 2024 жылы Қытай 90 NXT:1980i сканерін алды;
• 2025 жылы — 89;
• екі жылда оларға барлығы $13 млрд-тан астам жұмсалды.

Бұл топтағы машиналар 38 нм өлшемді элементтерді басып, қабаттарды 2,5 нм дәлдікпен сәйкестендіреді. Соңғысы көп қайталап басу үшін аса маңызды. Заманауи NXT:1980Fi нұсқасы сағатына 330 пластинаға дейін өңдейді.

Санкция неге іске аспады

Нидерланды 2023 жылғы қыркүйекте NXT:2000i және одан жаңа сканерлерді экспорттауға лицензия енгізді, ал бір жылдан кейін оны NXT:1980i-ге де таратты. Алайда баяндама авторлары атап көрсеткендей, шектеулер бұрын сатып алынған жабдықты ескі техпроцестерден озық техпроцестерге ауыстыруға кедергі емес. «Қытайға жеткізілген 296 озық иммерсиялық DUV сканерінің қаншасы қазір жұмыс істеп тұрғаны белгісіз», — дейді CTS.

Баяндамадағы сандарды ASML есептілігімен салыстыру қиын. 2024 жылы компания бүкіл әлемде 129 иммерсиялық ArFi жүйесін, 2025 жылы 131 жүйе сатқан. CTS деректері дұрыс болса, бұл жеткізілімдердің шамамен 70%-ы Қытайға тиесілі. Ал ASML өз есебінде жүйе сатылымындағы Қытай үлесі азайғанын көрсетеді: 2024 жылы 41%, 2025 жылы 33%, 2026 жылдың бірінші тоқсанында 19%, екінші тоқсанында 14%.

АҚШ Конгресінде сәуірден бері екі партия ұсынған MATCH Act заң жобасы жатыр. Ол Қытайға иммерсиялық DUV сканерлерін жеткізуге, сондай-ақ орнатылған машиналарға қосалқы бөлшек пен сервис көрсетуге толық тыйым салуды ұсынады.

Дереккөздер: Tom’s Hardware — сканер сатып алу туралы CTS баяндамасының талдауы, ASML — Twinscan NXT:1980Fi сипаттамалары