Китай накопил 343 сканера ASML для техпроцесса 7 нм

Китайские производители чипов с 2012 года по начало 2026-го ввезли 343 иммерсионных литографических сканера DUV. К такому выводу пришёл вашингтонский Центр технологий и государственного управления (CTS), его доклад 5 октября разобрал Tom’s Hardware. По оценке авторов, значительную часть этих машин можно использовать для выпуска чипов класса 7 нм, хотя самые современные EUV-сканеры в Китай не поставляются из-за санкций.

Литографический сканер переносит рисунок схемы на кремниевую пластину. Самые тонкие слои современных процессоров печатают на EUV-машинах, которые делает только нидерландская ASML. Но 7-нанометровые чипы можно получить и на более старых DUV-сканерах, если наносить рисунок в несколько проходов. Это дороже и дольше, зато не требует запрещённого оборудования.

Что именно купил Китай

Основу парка, по данным CTS, составляют 270 сканеров ASML серии NXT:1980i. Ещё 22 машины относятся к модели NXT:2050i и шесть — к NXT:2000i. Пик закупок пришёлся на последние два года:

• в 2024 году Китай получил 90 сканеров NXT:1980i;
• в 2025 году — 89;
• всего за два года на них потратили больше $13 млрд.

Машины этого семейства печатают элементы размером 38 нм и совмещают слои с точностью 2,5 нм. Последнее особенно важно для многопроходной печати. Современная версия NXT:1980Fi обрабатывает до 330 пластин в час.

Почему санкции не сработали

Нидерланды в сентябре 2023 года ввели лицензии на экспорт сканеров NXT:2000i и более новых, а через год распространили их и на NXT:1980i. Но, как указывают авторы доклада, ограничения не мешают перевести уже купленное оборудование со старых техпроцессов на передовые. «Неясно, сколько из 296 продвинутых иммерсионных DUV-сканеров, поставленных в Китай, сейчас работают», — признают в CTS.

Цифры доклада сложно сверить с отчётностью ASML. В 2024 году компания продала по всему миру 129 иммерсионных систем ArFi, в 2025-м — 131. Если данные CTS верны, на Китай пришлось около 70% этих поставок. При этом сама ASML отчитывается о падении китайской доли в продажах систем: с 41% в 2024 году до 33% в 2025-м, 19% в первом квартале 2026-го и 14% во втором.

В Конгрессе США с апреля лежит двухпартийный законопроект MATCH Act. Он предлагает полностью запретить поставки иммерсионных DUV-сканеров в Китай, а также запчастей и сервиса к уже установленным машинам.

Источники: Tom’s Hardware — разбор доклада CTS о закупках сканеров, ASML — характеристики Twinscan NXT:1980Fi